בשירות חד-פעמי
גז NewTek מציג מערכת ייצור חמצן PSA (ספיחת נדנדה בלחץ) מהונדסת באופן ספציפי לסביבות ייצור מוליכים למחצה. פיתרון מודולרי זה מספק 99.5% חמצן טוהר גבוה במיוחד עם קצב זרימה שנע בין 5-3000 nm³/h, הכולל יכולות אינטגרציה חכמות לפעולות חדר נקי.
יתרונות טכניים ליבה
Dual-column 13X molecular sieve system achieves >99.999% טוהר O₂
± 0. 5% יציבות ריכוז באמצעות ניתוח גז לייזר בזמן אמת
0. 1 מיקרומטר סינון רב-שלבי (HEPA+ULPA) מבטיח תאימות ISO Class 3
- צריכת חשמל נמוכה של 30% ממערכות קונבנציונאליות
- מערכת התאוששות חום מפחיתה את העומס התרמי בסביבות נהדרות
- <65dB(A) noise level with acoustic enclosure option
תכנון הניתן להחלקה על החלקה תומך ב -20% -200% הרחבת קיבולת
יחידת דחיסת אוויר (טכנולוגיית גלילה ללא נפט)
מגדל טיהור (הסרת לחות אוטומטית של TSA)
ארון בקרה חכם (PLC+HMI עם פרוטוקול SECS/GEM)
יישומי תהליכי מוליכים למחצה
✔ חמצון תרמי
אספקת O₂ מדויקת לצמיחת תחמוצת השער (2-200 Å בקרת עובי)
✔ תחריט יבש
אספקת גז יציבה בפלזמה לדפוסים ננו-סולם
✔ טיהור תא CVD
חמצן יבש במיוחד למניעת זיהום חלקיקים
✔ חישול רקיק
בקרת אטמוספרה גבוהה לטווח גבוהה להפעלת סמים
מערכת ניטור חכמה
ניטור טומאה בזמן אמת (איתור ברמת PPB)
תחזוקה חזויה עם אלגוריתם AI (דיוק של 98%)
אבחון מרחוק באמצעות פלטפורמת IIOT (OPC UA/MTCONNECT)
חצי F 5-0202 תקני גז נקיים
הסמכת CE/UL/ETL בטיחות חשמל
ISO 14644-1 תאימות חדר נקייה בכיתה 3
אנו מספקים
▲ רשת טכנית גלובלית:תמיכה רב -לשונית 24/7 עם<4hr response time
▲ תוכנית אופטימיזציה לכל החיים:ביקורת יעילות שנתית ושירות החלפת מסננת מולקולרית (1- אחריות לשנה)
▲פתרונות מותאמים אישית:שילוב מותאם עם מערכות AMHS/MMC
ותכנון מערכות התאוששות גז
צור קשר עם מומחי הגז המוליכים למחצה שלנו
📞 + 8615336587300
📧 sales@newtekgas.com
🌐 www.newtekgas.com
תגיות פופולריות: מחולל חמצן למוליכים למחצה, מחולל חמצן בסין ליצרני מוליכים למחצה, ספקים
